Medtem ko se globalni polprevodniški proces pomika proti naprednim vozliščem 3 nm/2 nm, se precizni titanovi materiali (ASTM B265/B348, titan z visoko čistostjo stopnje 1/2/5 in titanove zlitine) nadgrajujejo iz "pomožnih materialov" v ključne strateške materiale za proizvodnjo polprevodnikov, z glavnimi prednostmi, kot je ultra-visoka čistost, ultra-nizka vsebnost nečistoč, močna toplotna stabilnost, odpornost proti koroziji in ne-magnetne lastnosti. Pozornost in povpraševanje na trgu sočasno naraščata.
Osnovno gonilo: Napredni procesi zahtevajo nadgradnjo materiala
Napredni polprevodniški procesi (5 nm in manj) zahtevajo tri glavne zahteve za materiale: nanometrsko natančnost, čistost na atomski ravni in izjemno okoljsko stabilnost:
-Titanov ciljni material visoke čistosti (stopnja 1, čistost večja ali enaka 99,999 %/5N): PVD napršeni material jedra, ki se uporablja za bakreno medsebojno povezovalno pregradno plast, kontaktni vtič, za preprečevanje difuzije bakrovih atomov pred onesnaženjem silicijevih rezin, ki neposredno določa izkoristek in zmogljivost čipa, primeren za celoten 130-3nm proces.
-Natančne strukturne komponente (razred 2/5): delovna miza stroja za litografijo, komora stroja za jedkanje, vakuumska prirobnica, robotska roka za rezine itd., z nizkim koeficientom toplotnega raztezanja (8,6 × 10 ⁻⁶/ stopinjo ) in temperaturno nihajočo deformacijo samo 1/3 aluminijeve zlitine, kar zagotavlja nanometrsko pozicioniranje natančnost.
-Komponente, odporne proti koroziji (razred 7): odporne na močno kislinsko/halogensko korozijo v opremi za mokro jedkanje in čiščenje, brez onesnaženja s kovinskimi padavinami, primerne za ekstremne delovne pogoje visokega vakuuma in močne plazme.
Glavne prednosti ameriških standardnih titanovih materialov
1. Izjemno visoka čistost + ultra{2}}majhne nečistoče: ameriški standardni titan visoke -čistosti stopnje 1 z nadzorovanimi nečistočami kisika/dušika/ogljika<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Toplotna stabilnost + dimenzijska natančnost: nizka toplotna prevodnost (21,9 W/(m · K)), majhen koeficient toplotnega raztezanja, toleranca do ± 0,005 mm, gladkost površine Ra Manjši ali enak 0,4 μ m, primeren za sestavljanje v nanometru in vakuumsko tesnjenje.
3. Odpornost proti koroziji + ne-magnetna + nizko sproščanje plina: plast naravnega oksida, ki se samo-celi, odporna na Cl ₂/F ₂/korozijo z močno kislino; Ni magnetno in ne moti natančnih vezij; Stopnja izpusta zraka je izjemno nizka pod ultra-visokim vakuumom (UHV), kar zagotavlja čistočo komore.
4. Lahka in visoka trdnost: gostota 4,51 g/cm ³ (40 % lažja od nerjavečega jekla), natezna trdnost stopnje 5 Večja ali enaka 930 MPa, specifična trdnost dvakrat večja od nerjavečega jekla, primerno za zahteve glede lahke teže gibljivih delov z visoko-hitrostjo.
Osnovni scenariji uporabe
-Tirčni material iz titana visoke čistosti (1. stopnje): nanašanje z naprševanjem PVD, ki se uporablja za pregradno plast logičnega/pomnilniškega čipa in lepilno plast, z velikostjo svetovnega trga 1,87 milijarde ameriških dolarjev leta 2024 in CAGR 9,3 % od 2026 do 2030.
-Vakuumska komora/prirobnica (razred 2): Vakuumski sistem za opremo za jedkanje in nanašanje, odporen na visok tlak, nizko sproščanje plina in zanesljivo tesnjenje.
-Natančna robotska roka/končni efektor (stopnja 5): prenos rezin, lahka in visoka-trdnost, natančno pozicioniranje in brez odvajanja delcev.
-Korozijsko odporna obloga/pritrdilni element (7. stopnja): oprema za mokre procese, odporna na močne kisline, kot je HF/HCl, podaljšuje življenjsko dobo opreme in zmanjšuje stroške vzdrževanja.
Tržni trend: domača zamenjava+tehnološki preboj
Širitev svetovne polprevodniške zmogljivosti (zlasti v celinski Kitajski) je povzročila hitro rast povpraševanja po natančnih materialih iz titana. Leta 2023 bo velikost kitajskega trga natančnih delov iz titana za polprevodnike presegla 3 milijarde juanov z letno stopnjo rasti več kot 25 %. Dosežena je bila stabilna množična proizvodnja ameriških standardnih natančnih titanovih materialov stopnje 1/2/5 (vključno z 0,05 mm ultra-tanko titanovo folijo, ciljnimi materiali visoke-čistosti in natančnimi strukturnimi komponentami), pri čemer tolerance in čistost dosegajo mednarodne napredne ravni, kar pomaga verigi polprevodniške industrije, da je neodvisno nadzorovana.
Pri naprednih procesih in domači zamenjavi pogona na dvojna kolesa so natančni titanovi materiali, ki ustrezajo ameriškim standardom, postali temeljna podpora za nadgradnjo polprevodniške industrije. V prihodnosti se bodo še naprej prebijali proti višji čistosti (6N), tanjšim specifikacijam (manj kot ali enako 0,05 mm) in natančnejši obdelavi (± 0,002 mm).
Zahtevajte ponudbo
E-pošta:bjcxtitanium@gmail.com
WhatsApp:+8613571718779
